方案優(yōu)勢
產(chǎn)品參數(shù)
-
TZDI-12R
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TZDI-20R
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TZDI-25R
-
TZDI-35R
-
-
平臺類型
單臺面
-
最大曝光尺寸(mm)
200 - 1500
-
基板厚度(mm)
0.036 - 0.25
-
極限線寬線距(μm)
12/12
-
量產(chǎn)線寬線距(μm)
25/25
-
線寬精度
±10%
-
對位精度(μm)
±8
-
能力均勻性
≥95%
-
景深(μm)
±100
-
產(chǎn)能
210side/h(以單面板產(chǎn)品尺寸520*610 mm 為例,能量30mj/cm2)
-
推薦應(yīng)用
FPC
-
設(shè)備尺寸(m)
4.52 × 1.55 × 1.8
-
設(shè)備重量(t)
5.3
-
-
-
平臺類型
單臺面
-
最大曝光尺寸(mm)
200 - 3000
-
基板厚度(mm)
0.036 - 0.25
-
極限線寬線距(μm)
20/20
-
量產(chǎn)線寬線距(μm)
35/35
-
線寬精度
±10%
-
對位精度(μm)
±9
-
能力均勻性
≥95%
-
景深(μm)
±150
-
產(chǎn)能
4m/min(以單面板產(chǎn)品尺寸250*1500 mm 為例,能量30mj/cm2)
-
推薦應(yīng)用
FPC
-
設(shè)備尺寸(m)
5.12 × 1.55 × 1.8
-
設(shè)備重量(t)
5.3
-
-
-
平臺類型
單臺面
-
最大曝光尺寸(mm)
200 - 6000
-
基板厚度(mm)
0.036 - 0.25
-
極限線寬線距(μm)
25/25
-
量產(chǎn)線寬線距(μm)
40/40
-
線寬精度
±10%
-
對位精度(μm)
±10
-
能力均勻性
≥95%
-
景深(μm)
±200
-
產(chǎn)能
4.8m/min(以單面板產(chǎn)品尺寸250*2000 mm 為例,能量30mj/cm2)
-
推薦應(yīng)用
FPC
-
設(shè)備尺寸(m)
5.84 × 1.55 × 1.8
-
設(shè)備重量(t)
5.3
-
-
-
平臺類型
單臺面
-
最大曝光尺寸(mm)
200 - 6000
-
基板厚度(mm)
0.036 - 0.25
-
極限線寬線距(μm)
35/35
-
量產(chǎn)線寬線距(μm)
50/50
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線寬精度
±10%
-
對位精度(μm)
±12
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能力均勻性
≥95%
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景深(μm)
±300
-
產(chǎn)能
5m/min(以單面板產(chǎn)品尺寸250*2000 mm 為例,能量30mj/cm2)
-
推薦應(yīng)用
FPC
-
設(shè)備尺寸(m)
5.84 × 1.55 × 1.8
-
設(shè)備重量(t)
5.3
-