掩膜關(guān)鍵尺寸(CD)測(cè)量系統(tǒng)

面向先進(jìn)掩膜制造的高精度光學(xué)量測(cè)平臺(tái)

Spector是專為半導(dǎo)體掩膜制造中的關(guān)鍵尺?(CriticalDimension, CD)測(cè)量打造的?端光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，?持?14英?掩膜的?精度測(cè)量，全?滿??65nm?藝節(jié)點(diǎn)的掩膜檢測(cè)需求。 

系統(tǒng)可選配紫外光源，并對(duì)光學(xué)器件進(jìn)?專?優(yōu)化，確保關(guān)鍵尺?測(cè)量重復(fù)性優(yōu)于1.5nm，滿??穩(wěn)定性和??致性的量測(cè)要求。

Spector 采?全封閉式設(shè)計(jì)，?持SMIF傳輸接?和全?動(dòng)化搬運(yùn)流程，滿?潔凈環(huán)境下的?動(dòng)化?產(chǎn)需求。 同時(shí)，系統(tǒng)內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn) SECS/GEM 通訊協(xié)議，便于?縫集成?Fab?動(dòng)化系統(tǒng)，助?客戶實(shí)現(xiàn)?度?動(dòng)化，智能化的掩膜制造流程。