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矽行面向40nm制程BFI設(shè)備獲得客戶訂單，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體前道檢測(cè)再進(jìn)階

2025年05月05日

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近日，天準(zhǔn)科技（股票代碼：688003.SH）參股的蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下文簡(jiǎn)稱“矽行半導(dǎo)體”）宣布，其自主研發(fā)的明場(chǎng)納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備TB1500已收到客戶正式訂單，即將交付客戶工廠使用。


作為半導(dǎo)體制造前道工藝的核心檢測(cè)裝備，明場(chǎng)晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備長(zhǎng)期受制于海外技術(shù)壟斷；此次面向40nm工藝制程的TB1500獲得客戶正式訂單，標(biāo)志著我國(guó)在前道微觀缺陷檢測(cè)裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了技術(shù)節(jié)點(diǎn)的重大突破，為構(gòu)建自主可控的產(chǎn)業(yè)生態(tài)奠定關(guān)鍵基石。



天準(zhǔn)科技現(xiàn)已形成覆蓋全工藝節(jié)點(diǎn)的明場(chǎng)缺陷檢測(cè)產(chǎn)品矩陣，包含TB1000/TB1100（65-180nm）、TB1500（55/40nm）與TB2000（28/14nm）三大系列；精準(zhǔn)匹配不同技術(shù)節(jié)點(diǎn)，滿足邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片等多元化制程的缺陷檢測(cè)需求?；?span style="color: rgb(63, 63, 63);font-family: mp-quote, -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, ''Helvetica Neue'', ''PingFang SC'', ''Hiragino Sans GB'', ''Microsoft YaHei UI'', ''Microsoft YaHei'', Arial, sans-serif;font-size: 15.3333px;letter-spacing: 0.07225px;caret-color: rgb(255, 0, 0);">“自主研發(fā)+海外并購(gòu)+生態(tài)投資”的發(fā)展戰(zhàn)略閉環(huán)，公司已相繼攻克晶圓微觀缺陷檢測(cè)、套刻精度量測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)及掩膜量測(cè)等核心技術(shù)，形成貫穿晶圓制造、掩膜生產(chǎn)到封裝測(cè)試的全流程量檢測(cè)方案集群。


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未來(lái)，天準(zhǔn)科技將依托先進(jìn)光學(xué)傳感技術(shù)與AI驅(qū)動(dòng)的缺陷識(shí)別算法，向更高精度的半導(dǎo)體量檢測(cè)挑戰(zhàn)發(fā)起沖鋒，重新定義芯片制造的“質(zhì)量防線”，加速中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控進(jìn)程。


關(guān)于天準(zhǔn)


天準(zhǔn)，卓越視覺(jué)裝備平臺(tái)企業(yè)，致力以人工智能技術(shù)推動(dòng)工業(yè)數(shù)智化發(fā)展！天準(zhǔn)專注服務(wù)電子、半導(dǎo)體、新汽車等工業(yè)領(lǐng)域，提供業(yè)界領(lǐng)先的高端視覺(jué)裝備產(chǎn)品，以人工智能成就現(xiàn)代工業(yè)之美。


天準(zhǔn)在電子領(lǐng)域，作為全球視覺(jué)裝備核心供應(yīng)商，提供高端視覺(jué)測(cè)量、檢測(cè)、制程裝備。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，深度布局前道量檢測(cè)，提供納米級(jí)晶圓缺陷檢測(cè)、套刻與關(guān)鍵尺寸測(cè)量等核心制程控制裝備。在新汽車和機(jī)器人領(lǐng)域，提供高階自動(dòng)駕駛方案、通用智能方案及智能裝備等產(chǎn)品。


天準(zhǔn)憑借高效可靠的產(chǎn)品能力，幫助工業(yè)客戶提升競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)智能工業(yè)生態(tài)鏈的融合創(chuàng)新。