此次參展，天準(zhǔn)重點(diǎn)展出 TB 系列明場(chǎng)納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備與 DaVinci 系列套刻精度測(cè)量設(shè)備，彰顯了公司在量檢測(cè)設(shè)備自主研發(fā)領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。

TB 系列明場(chǎng)納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)裝備為全自動(dòng)寬波段圖形晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，可為200mm/300mm 晶圓提供高效、高靈敏度的缺陷檢測(cè)，可廣泛應(yīng)用在前道、后道各工藝層中，滿足不同工藝節(jié)點(diǎn)缺陷檢測(cè)需求。目前已推出 TB1100、TB1500 和TB2000 三款機(jī)型，分別覆蓋 180-65nm、55-40nm 及 28-14nm 工藝節(jié)點(diǎn)。

DaVinci 系列適用于 40nm 及以上制程節(jié)點(diǎn)所有層次的套刻精度量測(cè)，具備高精度、高重復(fù)性及高深寬比測(cè)量性能。

在專場(chǎng)技術(shù)演講中，天準(zhǔn)以《國產(chǎn)明場(chǎng)納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備助力集成電路制造良率提升》為題，分享了公司在前道檢測(cè)領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力與戰(zhàn)略布局，現(xiàn)場(chǎng)反響熱烈。

天準(zhǔn)，卓越視覺裝備平臺(tái)企業(yè)，致力以人工智能推動(dòng)工業(yè)數(shù)智化發(fā)展！天準(zhǔn)專注服務(wù)電子、半導(dǎo)體、新汽車等工業(yè)領(lǐng)域，提供業(yè)界領(lǐng)先的高端視覺裝備產(chǎn)品，以人工智能成就現(xiàn)代工業(yè)之美。

天準(zhǔn)在電子領(lǐng)域，作為全球視覺裝備核心供應(yīng)商，提供高端視覺測(cè)量、檢測(cè)、制程裝備。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，深度布局前道量檢測(cè)，提供納米級(jí)晶圓缺陷檢測(cè)、套刻與關(guān)鍵尺寸測(cè)量等核心制程控制裝備。在新汽車與機(jī)器人領(lǐng)域，提供高階智能駕駛方案、具身智能方案及智能裝備等產(chǎn)品。

天準(zhǔn)憑借高效可靠的產(chǎn)品能力，幫助工業(yè)客戶提升競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)智能工業(yè)生態(tài)鏈的融合創(chuàng)新。